반도체 웨이퍼 캐리어 응용 분야의 폴리 테리 미드 (PEI)

December 14, 2024

반도체 기술의 지속적인 개발로 인해 제조 공정의 복잡성과 정밀 요구 사항도 증가하고 있습니다. 반도체 생산에서 중요한지지 재료로서, 웨이퍼 캐리어의 성능은 웨이퍼의 처리 품질 및 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 최근 몇 년 동안, 폴리 테이 미드 (PEI)는 우수한 고성능 특성을 가진 반도체 웨이퍼 캐리어에서 널리 사용되어 왔으며, 새로운 웨이퍼 처리 재료를위한 최초의 선택 중 하나가되었습니다.

PEI 재료 특성의 장점

폴리 테이 미드 (PEI) 는 일련의 우수한 물리적 및 화학적 특성을 갖춘 고성능 엔지니어링 플라스틱입니다. 첫째, PEI의 고온 저항은 우수하여 최대 170 ° C ~ 200 ° C의 작동 온도를 견딜 수있어 고온 어닐링, 베이킹 및 반도체 제조에서 공통적 인 기타 열 처리 공정에 매우 적합합니다. 전통적인 재료와 비교할 때 PEI는 웨이퍼 처리의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 고온에서 안정적인 기계적 특성과 치수 일관성을 유지합니다.

또한, PEI는 우수한 전기 절연 특성을 가지며, 반도체 생산 중 웨이퍼에 대한 정전기 방전 (ESD) 손상을 효과적으로 피할 수 있으며 반도체 장치의 정밀성 및 안정성을 보호 할 수 있습니다. 또한, PEI 재료는 화학 물질에 매우 저항력이 있으며 다양한 부식성 용매, 산 및 알칼리 및 기타 화학 물질에 저항 할 수 있습니다. 용어.

반도체 웨이퍼 캐리어에서의 적용

광범위한 응용 시나리오에서 반도체 웨이퍼 캐리어의 폴리 테리 미드 (PEI)는 주로 웨이퍼 처리, 저장, 열 처리 및 청소 및 기타 측면에 중점을 둔다. 고온 저항과 우수한 기계적 특성으로 인해 PEI 재료는 웨이퍼 운송 상자, 트레이, 지지대 및 기타 캐리어에 이상적인 선택이되었습니다. 이 캐리어는 고온, 화학 반응 및 외부 영향, PEI의 고강도, 충격 저항 및 치수 안정성에 장기간 노출되면 가혹한 환경에서 일관되게 성능을 발휘할 수 있습니다.

또한 PEI의 낮은 흡혈 특성은 웨이퍼 캐리어의 성능을 보장합니다. 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 캐리어는 종종 환경의 높은 습도에 노출되며, PEI의 낮은 수분 흡수는 수분 흡수로 인한 성능 또는 변형의 변화를 피하기 위해 재료 성능의 일관성과 안정성을 유지하는 데 도움이됩니다.

PEI의 시장 전망

반도체 산업의 재료 성능 요구 사항이 지속적으로 개선되면서 PEI는 고성능의 비교적 합리적인 비용 엔지니어링 플라스틱으로서 전통적인 재료를 점차적으로 대체하고 반도체 웨이퍼 캐리어에서 가장 널리 사용되는 재료 중 하나가되고 있습니다. 기술 진보와 수요 증가로 인해 반도체 산업에서 PEI의 시장 전망은 훨씬 더 넓을 것으로 예상됩니다. 특히 제조 공정에서는 웨이퍼 처리 프로세스의 고온 요구 사항이 더 복잡 할 것으로 예상됩니다. PEI의 장점은 더 두드러진.

요약하면, 폴리 테이 미드 (PEI)는 우수한 고온 저항, 전기 절연, 기계적 강도 및 화학적 저항성 덕분에 반도체 웨이퍼 캐리어 분야에서 핵심 재료가되었습니다. 반도체 기술의 향후 개발에서 PEI는 반도체 산업의 혁신과 개발을 돕는 데 중요한 역할을 할 것입니다.

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